半導(dǎo)體生產(chǎn)製程包含精密的微機(jī)電和積體電路，對(duì)於生產(chǎn)環(huán)境之潔淨(jìng)度的要求特別嚴(yán)格，因此整個(gè)製造過程都必須在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下進(jìn)行。隨著製程特徵尺寸（feature size）快速縮小，潔淨(jìng)室環(huán)境空氣品質(zhì)的要求也更為嚴(yán)苛。

MiTAP 系列產(chǎn)品提供完整 VOC 監(jiān)測(cè)運(yùn)用，從環(huán)境監(jiān)測(cè)、晶圓搬運(yùn)盒（FOUP）潔淨(jìng)度確認(rèn)到設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)的汙染管控，都有最符合經(jīng)濟(jì)效益的解決方案。?

1.全廠環(huán)境監(jiān)測(cè)?
潔淨(jìng)室環(huán)境之可能VOC污染源，包括了潔淨(jìng)室外之汙染氣體、製程反應(yīng)逸散、設(shè)備材料本身?yè)]發(fā)產(chǎn)生及設(shè)備維護(hù)過程氣體揮發(fā)等。相關(guān) MiTAP 運(yùn)用包括有VOC 基線設(shè)置與預(yù)防性警告系統(tǒng)，端點(diǎn)交叉污染驗(yàn)證及污染質(zhì)生命週期監(jiān)控等。

2.濾網(wǎng)效能檢測(cè)
長(zhǎng)期、連續(xù)的監(jiān)測(cè)資料，能提供完整之性能曲線報(bào)告，協(xié)助審核評(píng)估化學(xué)濾網(wǎng)效能，掌握最佳更換時(shí)機(jī)，取得成本與效益間的最佳平衡點(diǎn)。?

3.製程中晶圓搬運(yùn)盒潔淨(jìng)度檢測(cè)
MiTAP應(yīng)用可直接與晶圓搬運(yùn)盒清潔系統(tǒng)整合，亦或於製程中設(shè)置監(jiān)測(cè)點(diǎn)。於晶圓製程中，有效確認(rèn)晶圓搬運(yùn)盒的潔淨(jìng)度，可避免晶圓受到搬運(yùn)盒釋氣（outgassing）汙染，以確保產(chǎn)品良率。此外，此項(xiàng)監(jiān)測(cè)資料亦可作為業(yè)主審核評(píng)估晶圓搬運(yùn)盒之汰換時(shí)機(jī)點(diǎn)。?

4.廠內(nèi)主要?dú)赓|(zhì)檢測(cè)
監(jiān)控廠區(qū)內(nèi)主要?dú)怏w的潔淨(jìng)度，此項(xiàng)檢測(cè)能確保主氣體不受汙染，影響產(chǎn)品良率。?

5.製程污染鑑定
於現(xiàn)地單點(diǎn)或搭配多點(diǎn)採(cǎi)樣系統(tǒng)，對(duì)製程中之設(shè)備進(jìn)行內(nèi)外VOC濃度值監(jiān)測(cè)，並透過網(wǎng)路將監(jiān)測(cè)結(jié)果回傳至中控端，幫助業(yè)主了解掌握汙染狀況，即時(shí)應(yīng)對(duì)，減少?zèng)@染可能造成的良率下降。