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創(chuàng)控科技FOUP微環(huán)境監(jiān)測整合式解決方案 首度公開亮相
創(chuàng)控科技FOUP微環(huán)境監(jiān)測整合式解決方案 首度公開亮相
廠務、生產(chǎn)設(shè)備、晶圓載具環(huán)境 提供先進製程完整AMC監(jiān)控方案
2024年9月4日
全球AMC及VOCs監(jiān)測領(lǐng)導廠商創(chuàng)控科技(以下簡稱"創(chuàng)控",股票代碼:6909)提供半導體製程高度客製化AMC監(jiān)控應用解決方案,協(xié)助半導體廠更嚴密地做好AMC氣體微污染管理,提升半導體製程良率。作為半導體製程 AMC 監(jiān)控應用解決方案的先行者,創(chuàng)控今年也擴大SEMICON Taiwan 2024國際半導體展攤位規(guī)模,於南港展覽館二館一樓Q5646攤位首度公開最新產(chǎn)品FMS 2000半導體製程FOUP(前開式晶圓傳送盒)微環(huán)境監(jiān)測整合式解決方案,為先進製程解決FOUP污染監(jiān)測問題。
在半導體製程中,F(xiàn)OUP內(nèi)的污染是一個嚴峻的挑戰(zhàn),從乾淨到受污染的晶圓,過程涉及FOUP排氣、轉(zhuǎn)移到晶圓以及FOUP可能再次受到污染等階段,過去因為缺乏監(jiān)測解決方案,污染物的持續(xù)交換會放大影響,導致缺陷、良率下降和設(shè)備使用壽命縮短。透過創(chuàng)控的微環(huán)境監(jiān)測整合式解決方案,能精準協(xié)助客戶監(jiān)控包括NH3、Amines、SO2、IPA、Toluene、Acetone、HF、HCl等常見污染。
創(chuàng)控MiTAP系列產(chǎn)品提供完整AMC監(jiān)測運用,從環(huán)境監(jiān)測、晶圓搬運盒(FOUP)潔淨度確認到設(shè)備機臺內(nèi)的污染管控,都有最符合經(jīng)濟效益的解決方案核心產(chǎn)品。從全廠環(huán)境到廠內(nèi)、製程中之設(shè)備,於現(xiàn)地單點或搭配多點採樣系統(tǒng),MiTAP Manifold System於先進製程更貼近客戶需求;MiTAP Cart System的移動優(yōu)勢更全面改良升級,廣泛運用於廠內(nèi)、無塵室、化學濾網(wǎng)效能評估。MiTAP M3量測酸性、鹼性氣體,創(chuàng)控產(chǎn)品量測物種也從VOCs有機物種的量測,擴大至AMC酸鹼物種的分析,完善AMC整體監(jiān)測方案。
創(chuàng)控深耕半導體製程AMC監(jiān)控管理十餘年,深知客戶在廠務、設(shè)備、管理、品管等各方面會面臨到AMC困擾,除致力於提供客製化AMC監(jiān)控解決方案,更因應產(chǎn)業(yè)發(fā)展預先投入新產(chǎn)品研發(fā),超前部署市場需求。AI應用推動半導體先進製程投資,創(chuàng)控受惠先進製程對AMC監(jiān)測的剛性需求,在先進製程對於生產(chǎn)環(huán)境之潔淨度要求更為嚴格下,創(chuàng)控亦持續(xù)研發(fā)新產(chǎn)品協(xié)助客戶解決更多痛點。
SEMICON Taiwan 2024國際半導體展以賦能AI無極限為主軸,聚焦先進製程等熱門議題,創(chuàng)控提供先進製程完整的AMC監(jiān)控解決方案,協(xié)助半導體良率提升,期為AI趨勢浪潮扮演幕後推手角色,與半導體產(chǎn)業(yè)共創(chuàng)商機。

新聞聯(lián)絡人:
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創(chuàng)控科技 呂秀孺財務長暨發(fā)言人;Email:tct-ir@tricorntech.com;連絡電話:(02)2223-0707
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